
JIACO Instruments 成立于2014年,由荷兰代尔夫特理工大学的两位科学家 Prof.Kees Beenakker 和 Dr. Jiaqi Tang 创办。JIACO 发明了大气压微波等离子体开封技术(Microwave Induced Plasma,简称 MIP ),该技术具备高刻蚀选择性、无刻蚀损伤、能够完整保留器件功能与原始失效点等优势,广泛应用于半导体失效分析与可靠性
测试领域。MIP 技术于 2022 年被纳入 JEDEC JESD22-B120 标准。自 2016 年首台设备交付以来,MIP 已被全球几乎所有领先的半导体公司采用,成为应对复杂失效分析和先进封装结构的主流解决方案。相关成果已在 ISTFA、IPFA、ECTC 和 AEC 等国际会议上发表论文超过 30篇。
与传统开封的区别
MIP 微波等离子体开封 | 传统等离子体开封 |
• 只使用纯氧气和专利氢气工艺, 对钝化层和芯片不造成任何损伤 • 开封时间相比传统等离子体开封减少了70% • 全自动开封作业 • 完全保留原始沾污点和失效点 • 大气压等离子体,显著减少维修和养护成本 | • 等离子体中含有 CF4,不可避免地造成钝化层 和芯片的刻蚀损伤 • 即使加入 CF4,刻蚀速度依旧缓慢 • 每完成一遍刻蚀需要手动清除二氧化硅填料 • 移除原始表面沾污点和失效点 • 真空系统,需要高成本的维修和养护 |
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